极端环境下压力传感器的研究进展

• 作者: 侯占强 周剑 肖定邦
• 来源期刊: 国防科技
• 学科: 工学
• 关键词: 极端环境 高温 压力传感
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 专题
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13943/j.issn1671-4547.2015.04.04

摘要

极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景.首先对国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术:SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无源传感技术、SiC高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述,并针对各自的主要优缺点进行对比分析和讨论,最后展望了极端环境压力传感器的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯占强	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	61	4.0	7.0
2	肖定邦	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	151	6.0	12.0
3	周剑	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	8	53	4.0	7.0