瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究

• 作者: 张晓辉 朱硕
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 大口径平面镜 瑞奇-康芒 面形误差 Zernike
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 698-703
• 页数: 6页
• 分类号: TN206|TH741
• 字数: 3357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201536.0501006

摘要

为使瑞奇-康芒法检测结果更为真实地反映出被检平面镜的面形情况,对瑞奇-康芒检测数据处理方法进行研究.针对现有的数据模型,提出利用坐标转换关系法计算平面镜的面形误差.利用仿真验证坐标转换法的有效性并分析此方法的理论计算精度.通过对比实验结果与干涉仪直接检测结果可知,坐标转换法的实际PV检测精度优于1/20λ,RMS检测精度优于1/100λ,达到高精度检测要求.相比影响矩阵法结果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,证明坐标转换法更适用于瑞奇-康芒法数据处理分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	70	732	13.0	25.0
2	朱硕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	14	1.0	3.0