韩开发出可与微电子兼容生长的石墨烯合成新方法

• 来源期刊: 中国粉体工业
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子 石墨 合成 生长 兼容 开发 离子注入技术 研究人员
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 54-54
• 页数: 1页
• 分类号: TN41

摘要

最近,韩国研究人员开发出一种与微电子兼容的方法来生长石墨烯,在硅基底上成功合成了晶片级（直径4英寸）的高质量多层石墨烯。该方法基于一种离子注入技术,简单而且可升级。这一成果使石墨烯离商业应用更近一步。相关论文发表在本周的《应用物理快报》上。