基于LabVIEW平台的新型二维微位移传感器设计?

• 作者: 周国全 孙东振 彭获然
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感 矩形干涉腔 光学干涉 等倾干涉 电耦合器件(CCD) LabVIEW 二维微位移
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 607-612
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1|O436.1
• 字数: 4073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.04.026

摘要

基于矩形谐振腔的光学等倾干涉原理，设计了一种新型的二维微位移传感器系统，该系统通过电耦合器件( CCD)技术对等倾干涉产生的周期性干涉条纹进行光电转换，然后将电信号导入信号处理系统进行采集与存储，最后由串行通信发送至计算机，在LabVIEW平台进行实时的监测。仿真实验结果显示，系统测量精度可以达到1μm~0.1μm.该系统采用矩形腔等倾干涉和F-P干涉相结合的方法，结构简单，成本低廉，且能够同时对二维微位移进行精确测量，可以应用于水利工程检测维护，大型建筑安全监测、精密加工中的实时控制等很多方面。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周国全	武汉大学物理科学与技术学院	41	127	5.0	9.0
2	孙东振	武汉大学物理科学与技术学院	1	15	1.0	1.0
6	彭获然	武汉大学物理科学与技术学院	2	18	2.0	2.0