日立高新推出全自动化微量取样系统

• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 取样系统 全自动化 半导体器件 日立 样品制备 聚焦离子束 透射电镜 失效分析
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 45-45
• 页数: 1页
• 分类号: TN303

摘要

近日，只护高新宣布推出新型微量取样系统，可用于透射电镜的自动化样品制备。该系统能够进行连续样品制备，住对徽掣中导体器件结构评估和失效分析当中，能够实现高精度、高效率测量，从而改进半导体器件的生产效率。微量取样技术利用聚焦离子束（FIB）和精密探针，可以从半导体品片中提取乜含有待分析区域的微米级样品。