一种薄膜石英探针的设计与加工制造方法

• 作者: 党元兰 王斌 赵飞
• 来源期刊: 无线电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 石英微带探针 仿真 对位 附着力 光刻 切割
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 电磁场与微波
• 页码范围: 37-40,44
• 页数: 5页
• 分类号: TN451
• 字数: 3716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3106.2015.09.10

摘要

为满足微波电路中低损耗的使用要求，基于石英基板设计了一款Ka频段石英基板微带探针，应用波导来进行能量传输。分析了该款探针作为波导与微带结构转换的电路设计原理及工艺设计方案。在明确设计结构和工艺方案的基础上，通过实现双面精准对位、改善膜层附着力、改善光刻条件和确保切割质量等方面对石英探针的加工制造进行控制。通过对探针实物的测试，测试结果满足使用要求，具有良好的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王斌	中国电子科技集团公司第五十四研究所	57	163	7.0	10.0
2	党元兰	中国电子科技集团公司第五十四研究所	9	68	5.0	8.0
3	赵飞	中国电子科技集团公司第五十四研究所	25	77	5.0	7.0