基于Parylene C的单触发开关性能实验研究

• 作者: 叶迎华 吴立志 朱朋 李杰 沈瑞琪 胡博
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 单触发开关 聚氯代对二甲苯 爆炸箔起爆器 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 233-237
• 页数: 5页
• 分类号: TM833|TJ05
• 字数: 1872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.064103

摘要

为了研制具有高导通电流和高导通速率能力的单触发开关,利用微加工技术制备了基于Parylene C的三明治结构单触发开关.在主回路充电电压1.0～1.6 kV的范围内,分析了开关触发回路电流、电压特性,导通峰值电流、上升时间、开关延迟时间,并且对单触发开关的电感、电阻做了估算.结果表明,基于Parylene C的单触发开关性能优于基于聚酰亚胺的单触发开关;随着开关加载电压的升高,开关导通的峰值电流呈现不断增大的趋势,但是上升时间几乎不变,其延迟时间分布在1～200μs之间,呈随机性分布,开关电阻随其作用时间增加不断增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶迎华	南京理工大学化工学院	123	751	15.0	19.0
2	沈瑞琪	南京理工大学化工学院	171	1017	16.0	20.0
3	李杰	南京理工大学化工学院	30	188	7.0	13.0
4	吴立志	南京理工大学化工学院	42	141	6.0	9.0
5	朱朋	南京理工大学化工学院	30	147	7.0	10.0
6	胡博	南京理工大学化工学院	5	13	3.0	3.0