基于晶圆优先级的连续型 Interbay 搬运系统性能分析

• 作者: 周炳海 赵猛 陈锦祥
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 晶圆优先级 自动物料搬运系统 排队模型 interbay
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 296-302,314
• 页数: 8页
• 分类号: TP29
• 字数: 6095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2015.02.015

摘要

为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能，采用基于排队论的方法构建了性能分析模型。在建模过程中，为了使搬运路径多样化，引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统。通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级，实现了较高优先级的晶圆能快到达目的地。考虑服务时间变动性，引用相关满足系统排队实际的排队模型，构建系统期望在制品的数学表达。在相同的实验条件下，通过分析性能分析模型与A re‐na仿真模型得到的系统在制品量，验证本文提出的性能分析模型的准确性。实验结果表明，任何情形下的绝对误差都控制在5％以下，性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	同济大学机械与能源工程学院	166	679	12.0	15.0
2	陈锦祥	同济大学机械与能源工程学院	2	6	1.0	2.0
3	赵猛	同济大学机械与能源工程学院	3	7	1.0	2.0