新型双并联电渗微泵的制备与测试

• 作者: 房家骅 方明 沈丹丹 秦丽 纪夏夏 谭秋林 魏坦勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电渗驱动泵 主通道 叉指电极 PDMS
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1131-1135
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.08.006

摘要

设计了一个双并联电渗驱动泵，它由三条并联的主通道和叉指型电极两部分组成，其中每条主通道由若干个与电渗流形成方向成45°角的沟槽并联构成。通过选用ITO载玻片作为芯片基底并获得其最佳工艺参数，制作了带电极的PDMS-玻璃微流控芯片。最后对制作的电渗微泵进行测试，通过记录一段时间内单个主通道泵输送液体的体积，得出单个主通道的流速与微泵总流速。实验发现在5V内，微泵泵送液体的能力随着电压的增加而增大，微泵流速可以达到正常人体眼球房水生成速度，该结构在未来房水引流器件制作方面具有潜在的应用价值。