一种二维光栅结构衍射场计算中的快速收敛方案

• 作者: 全军 邓浩 陈树强
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 模拟算法 层吸收法 光栅 严格耦合波分析 法向矢量法 收敛性 测试
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 79-86
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20154408.0805001

摘要

基于Lalanne经验法与G(o)tz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,给出了傅里叶模态层吸收法的一个快速收敛方案.通过求解解析边界轮廓函数的梯度矢量,简化了G(o)tz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,使其单波长点计算时间降低两个量级.通过距离反比权重法构造4个典型方向的法向矢量场,降低了法向矢量法在傅里叶因式分解过程中的不确定性.根据这4个典型法向矢量场与Lalanne经验法,提供了5个傅里叶模态层吸收法的收敛性改进矩阵.预先对5个收敛性改进矩阵优选分析,选择一个最优矩阵进行傅里叶模态层吸收法的衍射模拟计算,可以实现快速收敛.计算结果表明,对于硅材料简单结构,优选的改进矩阵相比于非优选矩阵收敛性提高2阶左右,能有效提高衍射场计算速度.该方案可提高光栅设计和集成电路结构分析/测试的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈树强	电子科技大学物理电子学院	6	8	2.0	2.0
2	全军	岭南师范学院物理科学与技术学院	8	8	2.0	2.0
3	邓浩	电子科技大学物理电子学院	5	9	2.0	2.0