时栅传感器动态测量误差补偿

• 作者: 孙世政 彭东林 武亮 郑方燕
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 时栅传感器 位移测量 动态测量误差 系统误差 随机误差 傅里叶级数逼近 GM(1,1)模型
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1114-1121
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 4072字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152304.1114

摘要

针对动态测量误差特点,提出了对系统误差和随机误差分别进行建模和组合补偿的思想来提高时栅传感器的动态测量精度.对具有周期性变化特征的系统误差采用傅里叶级数逼近的方法进行建模,运用最小二乘求解超定方程组的方法计算出系统误差的补偿参数.对于系统误差补偿后残留的随机误差采用灰色预测GM(1,1)模型进行预测,通过模型残差检验和修正提高预测的准确度.实验结果表明,利用傅里叶级数逼近模型有效地补偿了系统误差,误差由±35”降至±7.8”,通过最小二乘参数寻优得到的补偿参数与传感器实际的误差成分相吻合;灰色预测模型则很好地预测补偿了残留的随机误差,误差由±7.8”降至±3”.得到的结果表明,利用这种对误差分别建模和补偿的方法大幅度地降低了动态测量误差,有效地提高了传感器的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭东林	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	86	653	14.0	17.0
2	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	62	440	12.0	16.0
6	武亮	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心	34	215	9.0	13.0
7	孙世政	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	85	5.0	5.0