铜铝合金溅射薄膜的飞秒激光诱导击穿光谱分析

• 作者: 杨秋松 王阳 蔡志龙
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光谱学 铜铝合金 溅射薄膜 飞秒激光诱导击穿光谱 定量分析
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 光谱学
• 页码范围: 299-306
• 页数: 8页
• 分类号: O433.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0615001

摘要

采用飞秒激光诱导击穿光谱(fs-LIBS)技术研究了铜铝合金溅射薄膜的时间分辨等离子体光谱特性.测量了0～1000 ns延时和100～1000 ns门宽条件下薄膜的激光诱导击穿光谱(LIBS),分析了Al Ⅰ 396.2 nm谱线的Stark展宽情况,采用定标曲线和自由定标方法对铜铝合金溅射薄膜进行了定量成分分析,并比较了其与靶材成分之间的差异.结合同步瞬态反射率测试对薄膜进行了深度剖析,单脉冲平均取样深度约为90 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王阳	中国科学院上海光学精密机械研究所	45	111	6.0	7.0
2	杨秋松	中国科学院上海光学精密机械研究所	20	33	3.0	5.0
3	蔡志龙	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0