主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计

• 作者: 李晓宇 范文超 陈兴林 魏凯
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 宏微耦合 主从结构 线性状态观测器
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 工业控制与应用
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: TP273
• 字数: 3789字
• 语种: 中文

摘要

本文对超精密运动平台宏微控制系统进行了设计,并分析对比了两种主从结构的宏微策略,确定了宏动跟随微动的设计方案.针对光刻机宏微模型耦合部分引起的平台运动控制误差,本文引入了线性状态观测器对其进行补偿,并针对微动台音圈电机位置伺服系统设计了线性扩张状态观测器来实现对干扰的抑制.实验结果表明,加入线性状态观测器能够提高宏微控制系统的控制性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学航天学院	164	1267	18.0	24.0
2	李晓宇	哈尔滨工业大学航天学院	18	157	5.0	12.0
3	范文超	哈尔滨工业大学航天学院	6	48	2.0	6.0
4	魏凯	哈尔滨工业大学航天学院	12	58	2.0	7.0