非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究

• 作者: 李锐刚 陈新东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 234-240
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0508007

摘要

随着非球面反射镜口径和顶点曲率半径的增大,传统的非球面几何参数测量不能满足要求.为实现非球面几何参数的高精度测量,针对广泛应用的补偿器检测非球面光路,开展了几何参数分析和测量方法研究.将二次常数和顶点曲率半径的理论近似误差关系与Zemax仿真进行对比验证,确定了测量需求及数据复核方法;阐述了采用激光跟踪仪测量几何参数的基本原理,说明了特征转换过程及建模、数据处理方法.测量实验结果表明,对2m量级的测量光路,顶点曲率半径的重复性测量精度±0.039 mm,二次常数的重复性精度±2.05×10-5,离轴量的重复性精度±0.055 mm.说明采用该方法能够有效实现非球面参数的测量,并具有很高的重复性测量精度,适合大口径、长曲率半径非球面的几何参数测量.该方法绝对检测精度需要进一步分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈新东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	0	0.0	0.0
2	李锐刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	8	1.0	2.0