高真空蒸发系统检漏技术浅析

• 作者: 何方 宋健 毕飞
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空检漏 氦质谱仪检漏法 高真空蒸发系统
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 644-646
• 页数: 3页
• 分类号: TM924
• 字数: 2696字
• 语种: 中文

摘要

介绍了几种常见的真空系统检漏方法,着重探讨了氦质谱检漏仪的原理和结构,分析了检漏仪的检漏过程,能够帮助工程人员快速有效地寻找到漏点,并给出了常见漏点的解决办法.为真空蒸发系统设备的检漏提供了有意义的借鉴,为设备维护人员提供了参考和帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何方		2	2	1.0	1.0
2	宋健		1	2	1.0	1.0
3	毕飞		1	2	1.0	1.0