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摘要:
本文以φ100 mm的平晶为例,对JJG 28-2000《平晶》中以等厚干涉仪法校准工作平晶的平面度进行了测量结果不确定度的分析与评定.
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测量不确定度
内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名 平面平晶平面度测量结果的不确定度评定
来源期刊 大众标准化 学科
关键词 平晶 重复性测量 干涉条纹 不确定度
年,卷(期) 2015,(2) 所属期刊栏目 学术论坛
研究方向 页码范围 75-77
页数 3页 分类号
字数 2161字 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
平晶
重复性测量
干涉条纹
不确定度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
大众标准化
半月刊
1007-1350
14-1101/T
大16开
山西省太原市长治路106号
22-23
1982
chi
出版文献量(篇)
9364
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14
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2459
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