532 nm激光铣削Y-TZP陶瓷实验研究

• 作者: 季凌飞 李健 胡炎 蒋毅坚
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 二维铣削 阈值 累积效应 Y-TZP陶瓷
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 203-209
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0806002

摘要

采用波长为532 nm的短脉冲激光(脉宽6 ns)对Y-TZP陶瓷进行铣削实验研究.探究了单次刻蚀槽宽与功率的关系,分析脉冲数与材料阈值的关系,确定材料阈值.并且探究了铣削量及质量随激光工艺参数的变化规律,确定最优工艺参数,进一步进行了脉冲激光铣削微米级二维结构的工艺实验.研究结果表明槽宽的平方与脉冲峰值功率的对数呈线性关系,根据此关系式计算得出光斑半径与实际测量值相符.材料阈值随脉冲数增加而降低,在扫描速度、功率和重复频率的最优匹配下,可实现最大铣削量为1.35 mm3/min.在优化工艺参数下,完成直径500 μm的盲孔和宽200 μm、高100 μm的台阶方槽二维结构无裂纹铣削加工,结构边缘无残渣堆积,表面粗糙度为3.746μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚		100	628	12.0	21.0
2	李健		73	248	9.0	12.0
3	季凌飞		33	207	7.0	14.0
4	胡炎		1	0	0.0	0.0