周期性和孤立的纳米结构的超透镜亚波长成像

• 作者: 张手强 郭小伟
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 超透镜光刻 亚波长成像 周期性结构 孤立结构
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 157-161
• 页数: 5页
• 分类号: TN47
• 字数: 548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024131

摘要

超透镜光刻技术是一种很有前景的纳米结构成像技术,由于其具有可以克服衍射极限的能力,直到2005年,张翔和他的同事在365 nm紫外线波长下成功的对一排纳米线和刻在高分子膜上的四个字母“NANO”实现了超分辨成像,分辨率高达1/6入射波长.通过传递矩阵方法优化出超透镜结构,并通过选择适当的材料和设计在超透镜结构中的每个层的厚度以及合理的优化实验等方法制备一个新的超透镜结构,利用这种超透镜结构实现了周期性纳米结构及孤立纳米结构的亚波长成像.实验结果表明,对于周期性的纳米结构,其图像分辨率达到100 nm,而孤立结构的分辨率低于50 nm,小于入射波长的1/7.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭小伟	电子科技大学光电信息学院	9	25	3.0	5.0
2	张手强	电子科技大学光电信息学院	1	0	0.0	0.0