西门子还原炉倒棒原因与预防

• 作者: 于伟华 吴锋 朱顺泉 钟真武 陈文龙
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 改良西门子法 多晶硅 还原炉 倒棒
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 开发与应用
• 页码范围: 234-235,244
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法是多晶硅的主流生产工艺,其核心反应器还原炉的大型化发展趋势明显,导致生产中倒棒的发生概率进一步加大,给提高生产效率和保障安全生产带来不利影响.通过对大量生产现象的观察结合理论分析,深入剖析了诱发倒棒的各项因素,并给出了针对性的预防措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴锋		1	0	0.0	0.0
2	陈文龙		1	0	0.0	0.0
3	于伟华		1	0	0.0	0.0
4	钟真武		1	0	0.0	0.0
5	朱顺泉		1	0	0.0	0.0