氧化钛薄膜制备的热处理工艺研究

• 作者: 刘雨佳 张静 袁梦鑫
• 来源期刊: 科教导刊-电子版（下旬）
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 TiO2 锐钛矿结构 热处理
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 科学技术
• 页码范围: 160
• 页数: 1页
• 分类号: TB383.2
• 字数: 854字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料,制得TiO2薄膜.获得均匀连续TiO2薄膜的热处理工艺参数为:室温至200℃阶段烧结升温速率为0.5℃/min.