一种基于激光散射测量的高洁净表面微尘检测系统

• 作者: 赵晓萌 陈晓丹
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 激光散射法 表面微尘 监测系统 电路设计
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 智能应用
• 页码范围: 65-66
• 页数: 2页
• 字数: 834字
• 语种: 中文

摘要

光散射法测量是利用几何光学原理测量镜片表面的非接触测量方法,光束以一定角度照射到镜片表面后,由于表面非理想光滑,发生透射、反射、和散射现象,散射光的强弱则反映出镜片表面的加工精度、损伤或微尘.本文针对高洁净度镜片表面微尘检测设计一套检测方案,其中涉及激光器选型、低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵晓萌		1	0	0.0	0.0
2	陈晓丹		1	0	0.0	0.0