低能量电子枪的研发

• 作者: 侯宾宾 孙秀宇 洪宇 游燕 臧侃 董华军 薛冬冬 郭方准
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子 电子发射枪 电荷补偿
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2751字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍低能量电子发射枪,适合装备在X射线光电子能谱系统上,在进行半导体或其它导电性较差物质的光电子分析时进行样品表面的电子补偿.该电子枪主要由阴极、控制极、阳极和聚焦电极组成,具备电子束发射、电子能量调节和电子束聚焦功能.实验测试证明,该装置发射的电子束能量在0～500 eV之间连续可调,电子束密度充足,电子束聚焦效果理想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董华军	大连交通大学机械工程学院	44	226	9.0	12.0
2	郭方准	大连交通大学机械工程学院	22	70	5.0	7.0
3	臧侃	大连交通大学机械工程学院	13	35	5.0	5.0
4	薛冬冬	大连交通大学机械工程学院	1	6	1.0	1.0
5	孙秀宇	大连交通大学机械工程学院	1	6	1.0	1.0
6	游燕	大连交通大学机械工程学院	2	7	1.0	2.0
7	侯宾宾	大连交通大学机械工程学院	2	6	1.0	2.0
8	洪宇	大连交通大学机械工程学院	1	6	1.0	1.0