基于ZEMAX的f-θ透镜的光学设计

• 作者: 刘喆 刘海欧
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 物理学
• 关键词: f-θ透镜 光学设计 ZEMAX 激光标刻
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 5-10,38
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 字数: 2782字
• 语种: 中文

摘要

f-θ透镜是激光标刻系统中最为重要的组成部分,它的性能将直接影响标刻机的标刻精度.设计的f-θ透镜波长为0.65 μm的单色光,设计时引入负的桶形畸变,校正系统的场曲,使匹兹伐尔场曲为零,轴外和轴上像质一致,整个像面成平面,且系统波像差小于λ/4.把入瞳放置在物方焦点处,形成像方远心光路,主光线通过f-θ透镜后平行于光轴射出,主光线在像面上的交点高度不变,描过程实现线性扫描,从而保障扫描精度.通过初级像差分析和已有的光学镜头库,确定f-θ透镜的初始结构参量,然后利用ZEMAX软件进行优化设计,得到由四片普通球面透镜构成的系统,该系统结构紧凑、焦距小,聚焦性能接近衍射极限,并且像面照度分布均匀、能量集中且相对畸变小,满足标刻要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘喆		17	33	3.0	5.0
2	刘海欧	中国电子科技集团公司光电研究院	4	4	1.0	2.0