氢化锂薄膜防水解技术的研究

• 作者: 雷洁红
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝薄膜 氢化锂薄膜 水解 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 化学、生物及材料科学
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11863/j.suse.2016.02.01

摘要

运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜,并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜.采用x射线衍射和红外光谱测试,分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用.研究结果表明,随着铝膜厚度的增加,氢化锂薄膜与水或CO2反应变质的几率越小,铝膜厚度为55 nm时,样品测试结果显示铝膜对氢化锂薄膜起到了一定的保护作用,延缓了氢化锂薄膜与空气中水和CO2等杂质的反应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷洁红	西华师范大学物理与空间科学学院	24	42	3.0	5.0