基于巯基-烯材料的亚波长光栅制备方法研究

• 作者: 史立芳 庞辉 张满 曹阿秀 李志炜 胡松 邓启凌
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长光栅 巯基-烯材料 PDMS 紫外光固化软印刷技术 PMMA
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: ?微纳光学?
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: TN303|TN253
• 字数: 2599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.01.012

摘要

针对亚波长光栅结构和特性要求，本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板，以巯基-烯材料作为压印胶，利用紫外光固化软印刷技术制备以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导层的巯基-烯材料亚波长光栅。本文对巯基-烯亚波长光栅三层结构进行了模拟仿真，并利用该方法制备了周期为300 nm的巯基-烯亚波长光栅，仿真和实验结果表明该光栅可以在特定角度反射波长为448 nm～482 nm的蓝光，实验现象与仿真结果一致，表明提出的方法可以有效的制备聚合物材料亚波长光栅。同时该方法操作简单、成本低、易于大批量复制，在微纳米结构制备方面具有广阔的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	邓启凌	中国科学院光电技术研究所	24	153	8.0	10.0
3	张满	中国科学院光电技术研究所	8	30	3.0	5.0
4	李志炜	中国科学院光电技术研究所	2	1	1.0	1.0
5	庞辉	中国科学院光电技术研究所	11	31	3.0	5.0
6	史立芳	中国科学院光电技术研究所	16	72	5.0	8.0
7	曹阿秀	中国科学院光电技术研究所	11	36	3.0	5.0