三坐标测量曲率半径误差评价的新方法研究

• 作者: 代雷 李全松 王东方 贾鹏
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 曲率半径检测 病态矩阵 测量策略 定量评估
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 186-192
• 页数: 7页
• 分类号: TH721|TN16
• 字数: 3728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2016.02.003

摘要

曲率半径检测是光学加工工艺流程中最基本的检测内容之一,为了克服传统三坐标测量曲率半径的测量策略测量误差无法定量评估的问题,将病态矩阵理论与三坐标检测曲率半径算法相结合,提出了基于IC值的三坐标检测曲率半径测量策略误差评估新方法.首先分析了三坐标测量曲率半径的测量模型以及误差产生原因,然后利用病态矩阵理论评价该测量模型的病态程度,在此基础上提出了一种评价三坐标测量模型病态程度的判据算法,并且进行了相关算法的验证.在仿真及实验均验证其准确性和有效性的基础上,利用该方法对三坐标检测曲率半径的三环法进行测量策略优化.结果表明:常规测量将中环放在上下环中间位置的做法是测量误差最大的一种方法,中环的位置越靠近球冠顶点,其测量结果的精度越高.分析结果对制定光学元件曲率半径测量的测量策略具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王东方	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	22	199	9.0	13.0
2	贾鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	7	18	3.0	4.0
3	李全松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	2	10	2.0	2.0
4	代雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	8	85	6.0	8.0