共晶键合与减薄技术的压电能量采集器

• 作者: 杉山进 李以贵 颜平 黄远
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微制造 能量采集器 减薄技术 共晶键合 锆钛酸铅
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064112-1-064112-5
• 页数: 1页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064112

摘要

采用微硅-锆钛酸铅（Si-PZT）悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块，构成可以工作于低频环境（小于1000 Hz）的微压电能量采集器，一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和 PZT研磨减薄技术制备了微压电悬臂梁结构，PZT 减薄实验最好结果为减薄至8μm。镍质量块（2 mm×2 mm×0.6 mm）采用微电铸工艺制备。通过对硅片与块材 PZT 的共晶键合工艺与 PZT 减薄技术的研究，制备出总厚度约为71μm 的 Si-PZT 悬臂梁结构，其中硅梁厚约为47μm，PZT 梁厚约为24μm。制备的微压电振动能量采集器样品的测试结果表明：在谐振频率为950 Hz，1.0g 加速度激励条件下，其交流输出峰值电压可达958 mV。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李以贵	上海应用技术学院理学院	24	34	4.0	4.0
2	黄远	上海应用技术学院理学院	11	19	3.0	3.0
3	颜平	上海应用技术学院理学院	11	19	3.0	3.0