钨钼复合热屏对泡生法生长蓝宝石晶体质量的影响

• 作者: 刘彩池 刘维娜 卢纪军 李日 程鹏 阎文博 陈洪建
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 泡生法 蓝宝石晶体 热屏 数值模拟 温度场 应力场
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 532-539
• 页数: 8页
• 分类号: O782
• 语种: 中文
• DOI: 10.14062/j.issn.0454-5648.2016.04.10

摘要

热场结构决定了晶体生长的热量、质量传输条件和晶体生长环境.利用专业晶体生长模拟软件CGSim,用数值模拟技术分析了晶体的温度场和应力场,研究了全钼热屏和钨钼复合热屏热场结构对蓝宝石晶体生长的影响.结果表明:钨钼复合热屏能够提供均匀的温度场,降低了晶体内部轴向和径向温度梯度以及晶体表面温度梯度,减小晶体内的热应力,晶体质量明显提高.