化学过滤器在半导体洁净室新风净化中的应用

• 作者: 于自强 杨云涛 梁洪军 牛立科 田世爱 迟宏伟
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 化学过滤器 半导体 洁净室 气态分子污染物 新风处理单元
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 过滤技术
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 字数: 2466字
• 语种: 中文

摘要

在半导体行业,空气中的悬浮气态分子污染物对于制程的潜在危害越来越受到人们的重视.目前,在通风系统中使用化学过滤器是去除AMC的主要方法之一.结合工程实例,介绍了半导体行业在新风处理单元中加装化学过滤器的实际效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田世爱		9	96	4.0	9.0
2	牛立科		3	0	0.0	0.0
3	于自强		6	28	3.0	5.0
4	杨云涛		4	4	1.0	2.0
5	梁洪军		1	0	0.0	0.0
6	迟宏伟		1	0	0.0	0.0