永磁薄膜材料的研究进展

• 作者: 倪经 周俊 曹照亮 郭韦 陈彦
• 来源期刊: 磁性材料及器件
• 学科: 工学
• 关键词: 永磁薄膜 工艺 性能 应用
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: TM273
• 字数: 5623字
• 语种: 中文

摘要

永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术，包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上，总结了各种永磁薄膜(金属合金、铁氧体、稀土化合物等)的国内外研究进展，以及在相关器件上的应用。最后展望了永磁薄膜的发展趋势和前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪经		13	23	3.0	4.0
2	陈彦		6	5	1.0	1.0
3	周俊		8	10	2.0	2.0
4	郭韦		3	3	1.0	1.0
5	曹照亮		2	3	1.0	1.0