ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

• 作者: 任伟 刘梦伟 李俊红 汪承灏 马军 魏建辉
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 273-280
• 页数: 8页
• 语种: 中文

摘要

提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计.由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计.研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器.测试结果表明:加速度灵敏度在20～1,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s2).经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB (ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊红	中国科学院声学研究所	30	72	5.0	8.0
2	汪承灏	中国科学院声学研究所	44	387	10.0	19.0
3	马军	中国科学院声学研究所	71	550	13.0	20.0
4	任伟	中国科学院声学研究所	21	73	5.0	8.0
5	魏建辉	中国科学院声学研究所	6	57	3.0	6.0
6	刘梦伟	中国科学院声学研究所	15	10	2.0	2.0