应用离子束修正高精度C GH基底

• 作者: 彭利荣 王高文 谷勇强 马占龙
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 离子束 计算全息图 透射波前
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 270-276
• 页数: 7页
• 分类号: TH161|TQ171.6+
• 字数: 1724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20160902.0270

摘要

计算全息图（CGH）作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中，但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底，提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm（有效口径140 mm圆形区域）、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正，最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明：应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势，不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马占龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	15	93	6.0	9.0
2	王高文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	10	86	6.0	9.0
3	谷勇强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	12	40	3.0	6.0
4	彭利荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	4	21	2.0	4.0