基于数据挖掘的晶圆制造交货期预测方法

• 作者: 张洁 汪俊亮 秦威
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 数据挖掘 交货期预测 案例推理
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: TH166
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2016.01.017

摘要

晶圆订单的交货期预测对于保证订单交付的准时性和平顺性,具有重要的意义.然而,晶圆制造中的在制品数量多、生产周期长的特点加剧了交货期预测的复杂性.基于海量晶圆制造数据,设计回归模型来对1669个晶圆加工过程参数与订单交货期指标之间的关联关系进行分析,并采用费舍尔Z变换筛选得到强相关变量,对所得到的强相关变量采用案例推理方法实现了晶圆制造订单交货期的精准预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁		187	1538	20.0	32.0
2	秦威		12	164	6.0	12.0
3	汪俊亮		4	44	2.0	4.0