高精度非回转对称非球面加工方法研究

• 作者: 代雷 张健 张春雷 徐乐
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 非回转对称 非球面 气囊抛光 IRP 抛光
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 364-370
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 2999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20160903.0364

摘要

本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先，通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球；然后，利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差；最后，利用高精度气囊抛光设备（IRP）精确对位精修面形，在不引入额外中频误差条件下，通过高精度对位检测技术实现非回转对称非球面高精度加工。将该方法应用于定点曲率半径为970．737 mm、k ＝－1、口径为106 mm 三次非球面加工，降低了加工难度，提高了加工精度，面形误差收敛到1／30λ（RMS）。实验结果验证了本文加工方法的正确性和可行性，对高精度非回转对称非球面加工具有一定的指导意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张健	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	272	3714	30.0	51.0
2	张春雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	18	100	7.0	9.0
3	代雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	8	85	6.0	8.0
4	徐乐	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心	4	41	3.0	4.0