阳极键合应力的原位拉曼光谱研究

• 作者: 于新海 唐佳丽 明小祥
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极键合 拉曼光谱 应力 原位
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 363-368
• 页数: 6页
• 分类号: TH11
• 字数: 4415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14135/j.cnki.1006-3080.2016.03.011

摘要

介绍了一种基于原位激光拉曼光谱的阳极键合应力研究方法.通过自制的小型阳极键合装置,结合激光拉曼光谱仪,原位研究了在阳极键合升温、通电和降温过程中硅界面应力的演变过程.升温过程中单晶硅的拉曼峰位会向低波数移动,通电恒温键合过程中氧化硅的生长会在单晶硅界面引入拉应力,降温过程中单晶硅界面的应力状态发生从拉应力到压应力的转变.界面的氧化过程对阳极键合结构界面的应力状态有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于新海	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	24	125	7.0	10.0
2	唐佳丽	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
3	明小祥	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0