基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究

• 作者: Peter Bennett 刘顿 吕清花 娄德元 杨奇彪 翟中生 胡勇涛 陈列
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 并行加工 空间光调制器 GS算法 多光束
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 315-320
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 字数: 3706字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201637.0207003

摘要

针对飞秒激光微加工中能量利用率和加工效率低的问题,提出一种基于空间光调制器的飞秒并行加工方法.在讨论衍射光栅入射角与衍射角关系的基础上,分析了叠加多个衍射光栅产生多光束的原理,运用GS算法对目标多光束进行优化并计算出相应的相位全息图,将该全息图加载到空间光调制器中获得了多光束.采用脉宽100 fs、波长800 nm的飞秒激光,进行聚焦PMMA样品内部的并行加工实验,观察到PMMA上多点组合的“一”和“工”字型,得到了光束能量均匀的图形.实验结果论证了该方法对于多光束并行加工控制的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈列	湖北工业大学机械工程学院	21	30	3.0	5.0
2	杨奇彪	湖北工业大学机械工程学院	28	28	3.0	5.0
3	娄德元	湖北工业大学机械工程学院	20	22	3.0	4.0
4	刘顿	湖北工业大学机械工程学院	25	26	3.0	5.0
5	吕清花	湖北工业大学理学院	21	55	5.0	6.0
6	翟中生	湖北工业大学机械工程学院	45	109	6.0	8.0
7	Peter Bennett	湖北工业大学机械工程学院	6	8	1.0	2.0
8	胡勇涛	湖北工业大学机械工程学院	3	8	1.0	2.0