针孔对单轴法线跟踪式测量系统零位测量的影响

• 作者: 付鲁华 康岩辉 李怀禄 王仲
• 来源期刊: 测试科学与仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 差动共焦 高斯光束 Collins 公式 针孔最佳尺寸
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 336-341
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 676字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8042.2016.04.005

摘要

针对大曲率表面面形测量问题，提出一种单轴法线跟踪式测量方法。通过运用 Collins 公式，研究了倾斜角度对基于高斯光束测量系统的影响；通过理论分析和数值模拟，证明了在待测面倾斜的情况下，高斯光束与点光源作用下差动共焦系统的零位位置有明显不同；推导出高斯光束测量系统中针孔最佳尺寸和实际系统参数的关系，指出实验中波长为633 nm 测量系统的针孔最佳直径在20μm 到35μm 之间。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王仲	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	58	779	12.0	26.0
2	付鲁华	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	45	491	13.0	21.0
3	康岩辉	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	11	27	4.0	4.0
4	李怀禄	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	1	1.0	1.0