二氧化钒纳米周期点阵的光学特性

• 作者: 伍征义 刘飞 唐佳茵 孙瑶 徐婷婷 李毅 蒋蔚 郝如龙 陈培祖
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: VO2 纳米周期点阵 光学特性 热致相变
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 227-233
• 页数: 7页
• 分类号: TB34|TN213
• 字数: 4160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2016.02.019

摘要

为了得到相交温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39％,透过率整体高于VO2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO2纳米周期点阵的结构可以有效提升材料的光学特性.