硅片精密磨削用砂轮的研究综述

• 作者: 任庆磊 胡伟 谢小柱 魏昕
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 精密磨削 砂轮 磨损 建模
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 博士生专栏
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TG74+3|TG58
• 字数: 2114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.2016.02.004

摘要

砂轮作为硅片精密磨削加工过程中的关键加工工具备受关注.对硅片精密磨削用砂轮的国内外研究情况进行了总结分析,认为在其制备技术研究方面还需进一步的理论支撑;在磨损与观测评价方法研究方面,宜从砂轮建模入手,结合磨削硅片的材料特性,建立不同磨削阶段的砂轮磨削磨损模型;分析其磨损机理,同时优选砂轮观测评价方法,试验验证磨损过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小柱	广东工业大学机电工程学院	73	422	11.0	16.0
2	胡伟	广东工业大学机电工程学院	57	313	10.0	14.0
3	魏昕	广东工业大学机电工程学院	111	782	15.0	22.0
4	任庆磊	广东工业大学机电工程学院	13	16	3.0	3.0