高精度薄膜生产线的水平层流环境营造技术

• 作者: 耿佐力 许洪章
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 洁净环境 垂直送风 垂直层流 水平层流 水平层流安装模块
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 设计研究
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 字数: 1763字
• 语种: 中文

摘要

汽车反光膜、平板显示器、手机触摸屏等保护膜的制造和加工,其精度、纯度要求很严,通常都在洁净环境中生产.而且,这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高.原来在万级条件下的生产环境,现在普遍提高到千级,甚至百级.另一方面,考虑到薄膜生产过程的特殊性,常用的垂直送风形式直接套用,存在着不少弊端,已逐步被更节能、气流更合理的水平层流方式所取代.对此类生产环境的特点,通过成功的水平层流案例,介绍一种已申请实用新型专利的水平层流安装模块.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿佐力		8	6	2.0	2.0
2	许洪章		2	2	1.0	1.0