弯月薄镜的侧向支撑

• 作者: 吴小霞 徐伟 邵亮 郝亮
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 弯月薄镜 侧向支撑 均匀承重 等间距竖直推拉 等间距推拉剪切 不等间距推拉剪切
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 553-559
• 页数: 7页
• 分类号: TH751
• 字数: 2390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162403.0553

摘要

弯月薄镜在侧向均匀承重和弯月薄镜在采用侧向均匀承重和等间距竖直推拉侧向支撑方式时,等间距竖直推拉侧向支撑方式时,会产生明显的弯曲变形问题.为消除附加弯矩带来的镜面变形,本文分析了弯月薄镜的结构特点,提出了适用于弯月薄镜的等角间距推—拉—剪切和不等角间距推—拉—剪切两种侧向支撑方式.通过在侧向支撑上增加轴向剪切平衡作用力分量,推导了在上述两种侧向支撑方式下各向作用力分量的表达式.针对1.23 m弯月薄镜,优化出切向分量最佳比率β为0.75.对16点等间距侧向支撑增加轴向剪切分量后,镜面变形RMS值由1259.1 nm减小到3.4 nm,无需轴向主动校正即可获得较好的支撑面形.不等角间距侧向支撑方式则解决了等间距侧向支撑方式中各个侧向支撑点的作用力大小差异较大的问题,结合弯月薄镜轴向支撑的主动校正能力,在最大校正力仅为-1.01N的主动校正后,16点不等间距侧向支撑实现了镜面变形RMS为4.6 nm的支撑效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	107	758	15.0	22.0
2	吴小霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	55	635	16.0	23.0
3	郝亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	59	5.0	7.0
4	邵亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	228	9.0	14.0