基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究

• 作者: 代彦伟 吴晓斌 张晓兵 王魁波 罗艳 肖梅
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: O形橡胶圈 痕量杂质气体 封闭式离子源 四极质谱仪
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 170-172
• 页数: 3页
• 分类号: TB773|TH145
• 字数: 1490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.03.010

摘要

在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封.橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中.实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响,在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统,对O形氟橡胶圈释放气体进行分析.实验发现O形氟橡胶圈释放大量的氧气等杂质气体,在痕量杂质分析系统上,不适合使用O形橡胶圈作为密封器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓兵	东南大学电子科学与工程学院	87	746	13.0	24.0
2	肖梅	东南大学电子科学与工程学院	11	83	5.0	9.0
3	罗艳	中国科学院光电研究院	30	414	8.0	20.0
4	吴晓斌	中国科学院光电研究院	12	24	3.0	4.0
5	王魁波	中国科学院光电研究院	11	20	3.0	4.0
6	代彦伟	东南大学电子科学与工程学院	1	1	1.0	1.0