洁净间不同洁净等级之间的气流调整

• 作者: 刘柏兵 朱敏 李兵 杨海军
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 洁净间 洁净度 气流组织 气流调整
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 设计介绍
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 字数: 2392字
• 语种: 中文

摘要

针对单向垂直流洁净间内,不同洁净等级之间的气流流向问题,为了保证产品良率,通过调节洁净间顶部FFU、工艺设备自带EFU的转速和调整地板开孔率的大小,使洁净间保持良好的气流流向.最后,对不同洁净等级设备之间的气流流向进行调节,现场实验结果表明所提方法的有效性和实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兵		1	0	0.0	0.0
2	朱敏		1	0	0.0	0.0
3	刘柏兵		1	0	0.0	0.0
4	杨海军		1	0	0.0	0.0