电化学微细加工技术的研究进展

• 作者: 李凤云
• 来源期刊: 江西化工
• 关键词: 微细加工EFAB工艺 3D电化学加工 复杂三维结构
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 字数: 1559字
• 语种: 中文

摘要

介绍了微细电化学加工的原理及其特点,系统地阐述了微细电化学加工在几个方面的研究情况和工艺特点,例如EFAB工艺、3D电化学加工、约束刻蚀剂层技术等.微细电化学加工必将在未来的微纳加工中起着举足轻重的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李凤云		1	3	1.0	1.0