LPCVD 法制备 TiO2纳米薄膜的生命周期评价

• 作者: 张洪潮 彭世通 朱南京 李涛
• 来源期刊: 工业安全与环保
• 关键词: 低压化学气相沉积 生命周期评价 二氧化钛薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 环境工程
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 字数: 2377字
• 语种: 中文

摘要

针对纳米材料生产的高能耗、低生产率的特点，用生命周期评价（LCA ）方法对纳米TiO2薄膜生产过程进行了环境影响评价，并通过设置不同的低压化学气相沉积过程（LPCVD ）工艺参数，研究了工艺参数中温度和压强对于TiO2薄膜评价结果的影响。研究显示，纳米TiO2薄膜生产阶段的环境表现受LPCVD过程工艺参数影响，评价结果可用于指导LPCVD工艺优化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涛	大连理工大学机械工程学院	50	324	9.0	17.0
2	张洪潮	大连理工大学机械工程学院	30	423	9.0	20.0
3	彭世通	大连理工大学机械工程学院	4	2	1.0	1.0
4	朱南京	大连理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0