980 nm高峰值功率微型化VCSEL脉冲激光光源

• 作者: 佟存柱 吴坚 宁永强 张建 张建伟 张星 王立军 秦莉 高世杰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 窄脉冲 高峰值功率 微型化
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 578-583
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2016.05.0l2

摘要

报道了输出波长980 nm的高峰值功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其微型化脉冲激光光源.通过优化VCSEL单元器件的结构,有效抑制了宽面VCSEL结构中的非均匀电流分布,提高了单元器件的斜率效率,获得了直径400 μm,峰值输出功率62 W的VCSEL单元器件;在此基础上,研制出由单元器件组合封装而成的VCSEL“准列阵”子模块以及集成驱动电路的微型化VCSEL脉冲激光光源,该光源在脉冲驱动条件为30 ns、2 kHz、105 A条件下的峰值输出功率达到226 W,光脉冲宽度35 ns,中心波长979.4nm,斜率效率达到2.15 W/A.