氮化物外延生长在线监测技术

• 作者: 姜晶 张泽展 杨萍 梁莹林 王超 王飞 胡俊 陈磊 马铁中
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 曲率测量 生长信息 红外测温 MOCVD在线监测技术 光致发光
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 650-658
• 页数: 9页
• 分类号: T19
• 字数: 5287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2016.04.017

摘要

金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术，是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法，也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求，MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提，面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况，并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。