基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备

• 作者: 吴利青 徐德辉 熊斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 温差发电 KOH腐蚀 能量采集 塞贝克效应 有限元分析 数学建模
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 305-312
• 页数: 8页
• 分类号: TN377
• 字数: 3367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.03.001

摘要

基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器，运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布；并对器件建立了数学模型，分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明：随着顶部凸台高度的增加，温差的有效利用率逐渐升高；随着顶部凸台边长的增加，有效温差利用率逐渐降低；随着热冷端热阻的减小，器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明，基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	徐德辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	12	28	3.0	4.0
3	吴利青	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室	2	11	2.0	2.0