矩形孔径主动自由曲面变形数据拟合

• 作者: 周超 邢廷文
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: Zernike多项式 矩形孔径 正交多项式 折反射式光刻物镜
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: ?光学设计?
• 页码范围: 104-109
• 页数: 6页
• 分类号: O435.2|O439
• 字数: 2502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.12.017

摘要

折反式深紫外光刻物镜采用反射镜为主动自由曲面，补偿系统热像差。一些物镜系统要求反射镜的通光孔径为矩形。出于描述反射镜主动变形的目的，需要采用矩形区域正交的多项式拟合变形数据。高精度的拟合要求需要获得高阶的多项式表达式。本文根据正交多项式的性质，推导了矩形正交多项式的通式并列出前36项多项式的表达式。应用该多项式对主动自由曲面的变形数据进行拟合。结果表明，变形均方根值(RMS)在2 nm~5 nm范围内，最小拟合残差可达0.024 nm。根据拟合残差面形的特点，可以对主动自由曲面的结构设计改进。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢廷文	中国科学院光电技术研究所	67	501	11.0	17.0
2	周超	中国科学院光电技术研究所	31	236	8.0	14.0