248 nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

• 作者: 田姗姗 陈涛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 玻璃微通道 248 nm激光 激光参量 刻蚀效率 刻蚀质量
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 687-690
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 1457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.014

摘要

为了提高玻璃微通道的加工效率及质量，采用248 nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证，取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明，激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4．54×103 mJ／mm2；随着激光能量的增加，刻蚀深度近似成对数增长，经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式；随着脉冲频率的增加，刻蚀深度近似成线性增长，经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式；且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加，呈增长趋势；激光的能量在400mJ～600mJ、脉冲频率在4Hz～7Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	田姗姗	北京工业大学激光工程研究院	3	4	1.0	2.0